上海集成电路配备资料工业立异中心获得晶圆研磨盘相关专利完成对研磨盘方位检测以进步修整可靠性

  金融界2025年2月15日音讯，国家知识产权局信息数据显现，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司获得一项名为“晶圆研磨盘用升降设备、修整设备及晶圆研磨设备”的专利，授权公告号CN 222472061 U，请求日期为2024年3月。

  专利摘要显现，本实用新型供给了一种晶圆研磨盘用升降设备、修整设备及晶圆研磨设备，包含壳体、动力器、榜首方位传感器和第二方位传感器；动力器设于壳体，动力器包含升降驱动组件和升降轴，升降驱动组件用于操控升降轴升降；榜首方位传感器和第二方位传感器坐落升降轴的侧边。升降轴具有感应部，升降轴的一端用于衔接研磨盘；当升降轴上升使研磨盘处于待机方位时，榜首方位传感器查验测验到感应部；当升降轴下降使研磨盘处于作业方位时，第二方位传感器查验测验到感应部。本实用新型供给的升降设备经过在壳体内距离的设置榜首方位传感器和第二方位传感器，以及在升降轴上设置感应部，完成了对研磨盘在待机状况或作业状况时方位的检测，以进步对研磨垫修整的可靠性。

  天眼查资料显现，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司，成立于2020年，坐落上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1150000万人民币。经过天眼查大数据分析，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司参加招投标项目64次，知识产权方面有商标信息14条，专利信息411条，此外企业还具有行政许可201个。