芯联集成电路制作获得气泡检测设备及溶剂运送体系专利削减光阻剂糟蹋

  金融界2024年11月11日音讯，国家知识产权局信息数据显现，芯联集成电路制作股份有限公司获得一项名为“气泡检测设备及溶剂运送体系”的专利，授权公告号 CN 221976837 U，请求日期为2024年3月。

  专利摘要显现，本实用新型触及半导体制作技术领域，供给了一种气泡检测设备及溶剂运送体系，气泡检测设备包含：排气容器、榜首运送管路、榜首阀门、气泡时长检测传感器和榜首液位传感器；所述榜首运送管路与所述排气容器的内腔连通；所述排气容器上设置有排气口，所述榜首阀门与所述排气口连通；所述气泡时长检测传感器设置于所述榜首运送管路，所述榜首液位传感器设置于所述排气容器。如此装备，该检测设备一方面可以削减因为单点反常形成的报警，可以大大削减因为单点反常时排泡形成的光阻剂糟蹋，另一方面能准确的检测溶剂存储容器是否排空，便利溶剂存储容器的及时替换。

  特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包含在内)为自媒体渠道“网易号”用户上传并发布，本渠道仅供给信息存储服务。

  史上最长双11收官，渠道“卷”服务，天猫589个品牌成交破亿，京东逾1.7万品牌成交额增超五倍

  比美军现役“萨德”还先进？“拱卫京畿弹”正式更名——红旗-19，露脸珠海航展！

  罗德 Wireless Micro 口袋无线领夹麦克风发布，一收双发 995 元

  电池最大的骁龙8至尊旗舰！红魔10 PRO首发7050mAh牛魔王电池 创我国自主研制的手机之最