中国首台光刻机问世达到全球第四代光刻机水平

  

  中国不能生产光刻机的历史结束了。2024年9月2日，工业与信息化部公布的《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》中，披露了两款国产光刻机，即国产氟化氪光刻机、氟化氩光刻机。

  光刻机是一种投影曝光系统。在半导体制作的步骤中，光刻机会投射光束，通过曝光在半导体材料上蚀刻电路，然后经过沉积、蚀刻、掺杂，架构出不一样的材质的线路。此制程被一再重复，就能形成集成电路。

  光刻机到目前为止，共经历了五代发展，从最早的第一代436波长，再到第二代光刻机开始使用波长 365nm i-line，第三代则是 248nm 的 KrF 激光，第四代就是 193nm 波长的 DUV 激光，这就是 ArF 准分子激光。

  氟化氩（ArF）准分子激光源光刻机，光源实际波长突破 193nm，缩短为 134nm，NA 值为 1.35，最高可实现 7nm 制程节点。

  只要做出DUV光刻机，很快就会做出EUV光刻机，这两款光刻机并无太大的差别，无非就是光源的改变，从193nm的紫外线nm米的紫外线，工作台绝大多数都是一样的，原理更是一样的。也就是说，中国制造出第五代光刻机为时不远了。

  就目前中国的光刻机水平，能制造出满足空调、洗衣机、汽车等各类工业品芯片的需求。

  一个国家的发展越来越离不开高端芯片，一个国家越是发展得越快对高端芯片的需求量也就越大。中国5G技术的全球领先发展，对芯片需求占到世界的50％以上。而中国的光刻机制造起步较晚，所需高端芯片多以代加工或进口为主。

  一直视美国为传统盟友的荷兰政府，出于美国的压力，一直不敢把高端光刻机卖给中国。前不久，荷兰政府在美国施压后作出决定：计划限制阿斯麦为中国客户提供维修、维护半导体设备的服务，这将导致中国客户的部分光刻机设备最快在2025年就可能没办法运行。

  光刻机刻进了中国人的骨子里，芯片伤了中国人的心。光刻机、芯片让中国人更加清醒地认识到：科学技术是第一生产力。于是，科技部门的改革是本轮党和国家机构改革的重中之重，中央科技委的组建，体现党中央对科学技术工作的重视达到历史新高度，全国各地党委也纷纷组建科技委员会。中国科学技术工作的春天来了，科技在春雨的滋润下硕果满枝头。

  这次工业与信息化部公布的《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》中，除披露的两款国产光刻机之外，还有很多国之重器：

  高端工业母机、电子专用装备、电力装备、大型矿山和冶金装备、大型石油和化工装备、先进节能环保装备、先进轨道交通装备、船舶与海洋工程装备、航空航天装备、新型农业机械装备、大型工程机械、新型轻工和纺织机械、高端医疗装备、精密仪器仪表、重大技术装备关键配套及基础件。

  这里头还值得特别一提的有：三代核电（华龙一号、 CAP 系列），独创“177堆芯布置”和“能动与非能动相结合”，创新核岛与安全壳设计，应用数字化与智能化技术，具备安全性和经济性突出的特点，技术指标达到国际先进水平。

  千万别自嗨！还是要埋头苦干，实干兴邦！向科技工作人员致敬！[赞][赞][赞]

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  夺命大火多由当事人无视安全、各防控环节失守导致。今年1月发生在江西新余佳乐苑临街店铺的火灾事故造成39人死亡，9人受伤。记者跟随国务院事故调查组在调查过程中独家获取了事发现场的视频，通过影像分析还原了这起重特大火灾事故发生的经过。

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